レビュー ニコンのDUV露光装置が選ばれる理由とは?ArF液浸からKrFまで現場の体験とメリットを徹底解説
半導体製造の現場において、露光装置(リソグラフィ装置)の選択はライン全体の運命を左右すると言っても過言ではありません。特に、最先端からボリュームゾーンまでをカバーするDUV(深紫外)領域において、の存在感は今なお圧倒的です。単なるスペック表...
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